LOT-Oriel - Spectroscopic Ellipsometers Software

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Software

1. WVASE: Auswertesoftware Ellipsometrie, T, R

Modelloptionen:

Einfachschichten:

mit oder ohne Absorption

Mischschichten basierend auf Effective Medium Theory (EMA):

Bruggeman oder Maxwell-Garnett

2 oder 3 Materialien

Parametrisierte Dispersionmodelle:

Cauchy, Urbach, Lorentz

selbstdefinierbare Dispersionsfunktionen

parametrisiertes Halbleitermodell

Gradientenschichten:

Materialzusammensetzung als Funktion der Tiefe

selbstdefinierbare Tiefenprofilfunktion

Oberflächen- und Grenzflächenrauhigkeit

Legierungsmaterialien:

AlxGa1-xAs, HgxCd1-xTe, SixGe1-x, SiOxNy, etc.

Temperaturabhängige Materialien

Superlattice-Struktur:

Wiederholung definierter Schichtfolgen

Anisotropie:

uniaxial, biaxial

freie Orientierung

Bestimmung der Orientierung (Euler-Winkel)

nichtabsorbierend, absorbierend

Korrektur nicht-idealer Systeme:

Rückseitenreflektion

Schichtdickenvariation

Fenstereffekte bei In-situ-Messung

Mehrprobenanalyse:

gemeinsame Auswertung der Meßdaten mehrerer Proben bei Kopplung gleicher Parameter. Reduziert Parameterkorrelation.

Datentypen:

Alle Datentypen lassen sich für einen gemeinsamen Fit verknüpfen.

Winkelabhängige spektroskopische Ellipsometriedaten:

Psi & Delta als Funktion des Einfallswinkels, der Wellenlänge und der Zeit

Transmissions- und Reflektions-Daten:

p-, s-, oder unpolarisiertes Licht als Funktion des Winkels und der Wellenlänge

Transmissionsellipsometrie:

wie Ellipsometrische Daten, lediglich Messung durch die Probe

Generalisierte Ellipsometrie (Anisotropie):

Bestimmung der Nebenelemente der Jones-Matrix bei Anisotropen Proben in Reflektion und Transmission

Daten mit Rückseitenreflektion:

Messung von der Probenober- und von der Probenrückseite (durch das Substrat)

2. VASEManager: zur einfachen, prozeßorientierten Ellipsometersteuerung und -Auswertung

3. GROWTHManager: zur einfachen, operatorgerechten In-situ-Echtzeit-Beschichtungssteuerung.

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International:

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→	Near Infrared Beam Profiler
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