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ZMI -
Interferometri per misure di spostamenti
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| La famiglia di interferometri ZMI di Zygo offre un ampio spettro di soluzioni, diversificate per prezzo e prestazioni, in grado di soddisfare qualsiasi esigenza nel campo della misura di spostamenti e velocità lineari e angolari. Tuttavia una linea completa di prodotti standard è solo il punto di partenza: oltre a questa Zygo è in grado di fornire un supporto di prim'ordine nella progettazione del sistema più appropriato alla Vostra applicazione, un'esperienza trentennale nello sviluppo meccanico e ottico e infine la possibilità di realizzare presso le proprie strutture componenti ottiche non standard. | |
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Interferometri per misure di spostamenti (DMI)
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Un Interferometro per la misura di spostamenti (DMI, Displacement Measuring Interferometer) misura spostamenti lineari e angolari con altissima accuratezza grazie al fenomeno di interferenza di luce laser di cui è nota con precisione la lunghezza d'onda. Le usuali configurazioni di un sistema DMI consentono inoltre di minimizzare gli errori geometrici, ad esempio l'errore di Abbe e l'errore di perpendicolarità tra assi, associati alle tecniche di misura di spostamenti meccanici. Infine, nella maggior parte delle applicazioni, il sistema è semplice da utilizzare e allineare ed ha la possibilità di gestire simultaneamente misure su numerosi assi (fino a 8).
A seconda della configurazione scelta un sistema ZMI può risolvere spostamenti fino a 0.15 nm, seguire spostamenti fino alla velocità di 4.2 m/s, operare su range di spostamenti fino a 20 m. |
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| La famiglia di Interferometri per la misura di Spostamenti ZMI è costituita da 3 sistemi partendo dal sistema a basso costo ZMI - 510 fino ad arrivare al sistema di frontiera ZMI - 2000. Ognuno dei sistemi è disponibile in diverse configurazioni da adattare alle esigenze specifiche dell'applicazione. Le caratteristiche basilari dei sistemi sono riassunte nella seguente tabella: |
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ZMI510 |
ZMI1000 |
ZMI2000 |
| Risoluzione* |
10 nm |
1,24 nm |
0,31 nm |
| Velocità massima* |
±0,5 m/s |
±0,55 m/s |
±2,1 m/s |
| Range di spostamento* |
±10,6 m |
±2,6 m |
±10,6 m |
| Formato dell'elettronica |
ISA |
6U VME |
6U VME o ISA |
| Segnale di misura |
Fibra ottica |
Fibra ottica |
Fibra ottica |
| Segnale di riferimento |
Fibra ottica |
Elettrico |
Fibra ottica |
| N. di assi per testa laser |
3 |
6 |
8 |
| * Questi dati si basano su una configurazione dell'interferometro a due passaggi. |
L'area di applicazione di questi sistemi può essere in prima approssimazione divisa in due classi:
 | sistemi ad alta risoluzione per il controllo in tempo reale della posizione, utilizzati ad esempio nei processi di litografia nell'industria di semiconduttori, nei sistemi di scrittura di reticoli a laser o a fascio elettronico, nella strumentazione di misura di dimensioni critiche e, in generale, in tutte quelle applicazioni che richiedono la conoscenza precisa del posizionamento di un sistema meccanico.
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| sistemi per la caratterizzazione ad alta risoluzione di movimenti meccanici ad alta frequenza, presenti ad esempio nei trasduttori piezoelettrici, nella calibrazione di stage lineari e rotazionali, ecc. |
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