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VeriFire™ Asphere –
Interferometro laser per la Metrologia 3D a non contatto di superfici asferiche
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Il sistema VeriFire Asphere è la soluzione ideale per la metrologia 3D ad alta risoluzione di superfici di forma asferica. Risultati quantitativi accurati e veloci per applicazioni di controllo di qualità e di processo sono ottenuti facendo uso della tecnica interferometrica e della potente piattaforma software di acquisizione ed analisi dati MetroPro™ di Zygo.
Caratteristiche:
 | Metrologia veloce e flessibile di superfici a geometrica asferica
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| Elevata accuratezza e ripetibilità della misura
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| Misure a non contatto assicurano l’integrità delle superfici
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| Allineamento e setup semplici per un eccellente rendimento di produzione
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| Risultati 3D ad alta risoluzione garantiscono la caratterizzazione locale di superfici
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Con i suoi stage a movimentazione motorizzata il VeriFire Asphere permette allineamenti ed acquisizioni automatizzate.
Il risultato è una misura ad alta risoluzione, veloce e quantitativa di superfici concave o convesse a forma asferica e assialmente simmetriche. | |
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VeriFire Asphere – Specifiche Tecniche
| Simple repeatability: ≤ 3 nm
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| Wavefront repeatability: ≤ 10 nm
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| TACT: 6-10 minutes (typical)
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| Part size: 1 mm - 130 mm
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| Departure from vertex sphere: ≤ R0 800 μm
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| Departure from asphere design: 10 μm
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Il Sistema VeriFire Asphere è una workstation in configurazione verticale per la metrologia ottica a non contatto di superfici asferiche.
Con le sue misure ad alta densità di dati il VeriFire Asphere può risolvere, oltre alla forma asferica, caratteristiche legate a medie frequenze spaziali. Dotato di una camere CCD ad alta risoluzione (1Kx1K pixels), l’interferometro di Fizeau VeriFire AT permette di ottenere acquisizioni con oltre 700.000 punti.
I risultati 3D garantiscono la visibilità di imperfezioni superficiali localizzate indipendentemente dall’orientamento della parte – un’importante requisito per la garanzia di un accurato controllo di processo.
Basato su 2 sistemi Zygo, il VeriFire Asphere è configurato con un interferometro laser di Fizeau, il VeriFire AT, ed un sistema interferometrico per la misura di spostamento lineare a 2 assi, lo ZMI 501. Quest’ultimo traccia lo spostamento della parte sotto test con risoluzione 2.5nm lungo l’asse ottico durante la scansione verticale multi-step.
L’acquisizione dell’intera superficie viene realizzata attraverso una tecnica multi-zona brevettata da Zygo.
Grazie alla sorgente Ring of Fire™, il VeriFire AT è anche in grado di realizzare misure con elevata accuratezza e libere da artefatti.
In funzione del diametro delle parti da misurare, il sistema può essere configurato con un mainframe da 4” o 6”. | |
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Oltre alla nuova capacità di risolvere la metrologia di superfici a forma asferica, il Sistema VeriFire Asphere può essere impiegato come workstation in configurazione verticale per la metrologia di superfici piane, sferiche e per la misura del raggi di curvatura.
Gli avanzati algoritmi software utilizzano stage porta campioni motorizzati su 5 assi per un allineamento facile e veloce della superficie asferica.
La possibilità di configurare il sistema con set-up automatici di misura, di acquisizione ed analisi dati per più utenti rende il sistema la soluzione ideale per la metrologia in ambienti di produzione. |
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