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VeriFire AT -
Interferometro di ultima generazione per misure di planarità e forma
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Le nuove caratteristiche
Nessun interferometro commerciale ha mai avuto le prestazioni dei nuovi sistemi VeriFire AT prodotti da Zygo.
La combinazione della nuova sorgente di illuminazione, della rivoluzionaria tecnica di acquisizione dei dati e dell'accurato progetto del sistema ottico sono le caratteristiche fondamentali della nuova generazione di interferometri. | |
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Il sistema di illuminazione denominato "Ring of Fire" consente di ottenere immagini perfette e prive di qualsiasi artefatto. I classici interferometri usano una sorgente di illuminazione coerente puntuale per creare facilmente l'interferenza tra i fasci. Questo comporta però la generazione di frange di interferenza spurie con tutte le particelle o i contaminanti che la luce trova lungo il cammino ottico.
Il nuovo sistema Ring of Fire genera un fascio parzialmente coerente che crea interferenza soltanto all'interno della cavità ottica di misura. Gli artefatti creati dalla polvere fuori dalla cavità ottica sono così eliminati consentendo una pulizia straordinaria dell'immagina acquisita ed una straordinaria precisione nelle misure.
La ripetibilità e la accuratezza dei dati ottenuti testimoniano la superiorità dei nuovi sistemi VeriFire rispetto agli attuali interferometri commercialmente disponibili. |
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| Un esempio della capacità del nuovo sistema Ring of Fire (a destra) di sopprimere gli artefatti dovuti alla polvere rispetto alla illuminazione con sorgente puntiforme (a sinistra). |
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| Specifiche Tecniche del sistema |
| Tecnica di misura |
Interferometro laser con acquisizione tridimensionale a variazione di fase |
| Sistema di illuminazione |
Sistema "Ring of Fire" per la soppressione degli artefatti |
| Diametro del fascio |
4" (102 mm) o 6" (152 mm) |
| Opzioni di montaggio |
Orizzontale, verticale verso l'alto o verso il basso |
| Asse ottico |
4,25" (108 mm) |
| Sistema di allineamento |
Quick Fringe Acquisition System (QFAS) con reticolo a spot gemello |
| Zoom |
6:1 |
| Campo di vista per l'allineamento |
Versione 4": ± 3°
Versione 6": ± 2°
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| Prestazioni |
| Ripetibilità |
λ/300 (2σ) misurata con il Three Flat Test |
| Ripetibilità PV |
λ/1.500 (2σ) |
| Ripetibilità rms |
λ/20.000 (2σ) |
| Numero di punti acquisiti |
776 x 576 |
| Risoluzione |
> λ/8.000 (doppio passaggio) |
| Tempo di acquisizione |
Bassa risoluzione: 140 ms (7 frames di dati)
Alta risoluzione: 260 ms (13 frames di dati) |
| Digitalizzazione |
8 bit |
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| Specifiche del laser |
| Tipo |
He-Ne Classe II |
| Lunghezza d'onda |
632,8 nm |
| Potenza all'uscita |
≤ 1 mW |
| Polarizzazione |
Lineare |
| Lunghezza di coerenza |
> 100 m |
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| Caratteristiche del campione |
| Materiale |
Vari: vetri, metalli superfiniti, ceramiche, plastiche |
| Preparazione |
Nessuna: le misure sono a non contatto e non distruttive ed avvengono in aria |
| Riflettività |
Da 0,1% a 100% in funzione dell'ottica montata sul sistema |
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