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NewView Serie DELTA MPT -
Profilometro 3D per misure di rugosità e planarità in ambienti di produzione
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Il Sistema NewView Delta MPT prodotto da Zygo è l'ultima evoluzione della già collaudata famiglia dei sistemi NewView 6000, creato soprattutto per rispondere alle esigenze dell'attività produttiva.
La tecnica di misura, già ampiamente testata nei sistemi NewView 6000, è stata incorporata in una struttura compatta e robusta, più idonea alle esigenze dell’industria. La semplicità di misura è garantita attraverso lo schermo piatto touch screen ed il flessibile e potente software di analisi metrologica di Zygo, il MetroPro®, che consente di preprogrammare tutti i parametri ed eseguire la misura premendo un solo tasto. | |
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Il software garantisce risultati grafici 3D ad alta risoluzione e permette di selezionare tra una vasta gamma di parametri metrologici fornendo dati quantitativi altamente precisi e ripetibili necessari per tenere sotto controllo il processo.
Il NewView Delta è una struttura compatta con una base minore di 1 m2, che racchiude un microscopio interferometrico (Sistema NewView) di agevole accesso frontale, un computer e un monitor piatto touch screen 17”.
Per l’isolamento dalle vibrazioni meccaniche il sistema integra un tavolo a smorzamento pneumatico controllato. |
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Caratteristiche:
 | Misure veloci 3D a non contatto
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| Eccellente accuratezza e ripetibilità
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| Struttura compatta per l’industria
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| Area di misura fino a 30mm
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| Dimensioni contenute
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| Tavolo antivibrante incorporato
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| Compatibile con software Q-DAS®
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| Obiettivo scorrevole nella versione DA
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| Monitor 17” touch screen
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Applicazioni:
| Planarità
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| Rugosità
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| Misure di altezza di gradino
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| Angoli di cono
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I NewView Delta sono dotati di nuovi speciali obiettivi appositamente studiati per le esigenze industriali. Due sono le versioni disponibili del NewView Delta: a singolo e a doppio obiettivo. | |
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NewView DELTA SA – Il NewView DELTA SA è progettato per essere impiegato con un singolo obiettivo per un’unica tipologia di misura (planarità, rugosità, step height, ecc…).
NewView DELTA DA – Il NewView Delta DA permette invece l’installazione di due obiettivi a lunga distanza di lavoro (SLWD, Super Long Working Distance) su una slitta scorrevole rendendo il sistema in grado di realizzare due tipologie di misure distinte (tipicamente planarità e rugosità) sullo stesso campione in esame semplicemente cambiando obiettivo e senza modificare il set-up software. Infatti cambiando obiettivo, il sistema automaticamente richiama la configurazione software del MetroPro® relativa all’obiettivo in uso.
L'obiettivo 0.5X è adatto a misure di planarità, secondo le norme DIN ISO 1101, di superfici con diametro fino a 30 mm permettendo l’analisi di aree critiche con una sola acquisizione. Gli obiettivi 5x e 10x consentono di misurare rugosità e irregolarità delle superfici. Tutti gli obiettivi permettono di effettuare misurazioni con lunghe distanze focali, in modo da raggiungere anche superfici recesse.
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Specifiche Tecniche
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Sistema
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Principio di funzionamento:
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Interferometria a scansione in luce bianca
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Messa a fuoco:
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Motorizzata in Z
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Campo di vista:
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Da 0.86x0.65mm a 30 mm di diametro in funzione dell'obiettivo e della lente di zoom
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Telecamera:
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640x480 oppure 320x240 selezionabile
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Computer:
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PC Dell allo stato dell'arte, monitor touch screen 17”
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Software:
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Zygo MetroPro™ / Microsoft Windows/Q-DAS® - compatibile
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Unità di scansione:
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Sistema piezoelettrico a circuito chiuso con sensori capacitivi altamente lineari.
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Range di scansione verticale:
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150 µm (campo di misura)
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Risoluzione verticale:
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0.1 nm
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Risoluzione laterale:
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Da 1.29 µm a 24 µm in funzione dell'obiettivo
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Velocità di misura:
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Fino a 10.5 µm/s
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Numero massimo di punti acquisibili:
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307.200 rilevati con telecamera 640x480 pixel
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Dimensioni e Peso
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Ingombro:
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0.902 m larghezza (senza monitor) e 0.800 m profondità
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Altezza:
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2.083 m
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Peso:
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454 Kg
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Specifiche del Campione
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Superfici osservabili:
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Quasi tutte le superfici, opache o trasparenti, con rivestimento o senza, speculari o non.
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Riflettività:
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da circa il 0,4% al 100%
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Rugosità:
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100 µm Rp (Standard) , dipendente dal parametro di inclinazione
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Dimensioni massime (AxLxP):
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200 x 250 x 250 mm senza stage
100 x 152 x 127 mm con stage
Campioni con dimensioni maggiori possono essere alloggiati con adattatori speciali
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Posizionamento del campione:
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Manuale
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Preparazione:
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Nessuna
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Specifiche tecniche degli obiettivi
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Power
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Type
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Design
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Working Distance (mm)
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HVFOV (mm)
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Lateral Resolution (µm)
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0.5X
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SLWD
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Michelson
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38.7
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30.00 Ø
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24.00
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1X
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SLWD
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Michelson
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40.0
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21.60 x 16.20
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12.00
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2.5X
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SLWD
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Michelson
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40.0
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8.64 x 6.48
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4.80
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5X
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SLWD
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Michelson
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40.0
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4.32 x 3.24
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3.00
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10X
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SLWD
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Linnik
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38.9
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2.16 x 1.62
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1.56
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25X
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LWD
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Michelson
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18.8
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0.86 x 0.65
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1.29
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