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IR-VASE
Ellipsomètre spectroscopique infrarouge

ELLIPSOMETRIE INFRAROUGE 2 – 33 µm: TOUJOURS PLUS LOIN AVEC LE NOUVEAU IR-VASE

L'éllipsométrie infrarouge tend à remplacer les méthodes FTIR traditionnelles (absorption ou reflexion) grâce à sa sensibilité incomparable, mesures de la phase et de l'intensité, pour les des petits phénomènes physiques sur des régions très fines. Cette technique permet également d'obtenir des constantes optiques exactes, spécialement pour les couches opaques, où la transmission FTIR est presque inutilisable.

Les mesures peuvent s'appliquer à des matériaux aussi divers que les diélectriques, les semi-conducteurs, les polymères et les métaux. L'éllipsométrie est également une mesure non-destructive, ne nécessitant pas de conditions sous vide. Elle permet la caractérisation d'interface solide-liquide, courante dans les milieux de la biologiques et médicaux.



L' IR-VASE développé par J.A. Woollam est un éllipsomètre spectroscopique à compensateur tournant développé pour le domaine spectral infrarouge. C'est le premier et seul éllipsomètre disponible sur une large gamme spectrale, de 2 à 33 µm (300 à 5000 cm-1). L'IR-VASE intègre un spectromètre FTIR commercial comme source IR.Technologie exclusive Woollam.


Une configuration particulière:

Le nouveau IR-VASE offre également une technologie avancée avec une configuration optique particulière autorisant des mesures justes et précises. La variation d'angle d'incidence de 30 à 90° est automatique, pilotée par le logiciel. De nouvelles avancées dans le domaine du logiciel et des composants permettent également l'acquisition rapide de résultats.


Principales applications:



Caractérisation de couches minces et matériaux bruts
Constantes optiques (n,k)
Composition des matériaux
Information sur les liaisons chimiques
Surfaces et interfaces
Résistivité




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