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Software

1. WVASE: Auswertesoftware Ellipsometrie, T, R

Modelloptionen:

Einfachschichten:

mit oder ohne Absorption

Mischschichten basierend auf Effective Medium Theory (EMA):

Bruggeman oder Maxwell-Garnett

2 oder 3 Materialien

Parametrisierte Dispersionmodelle:

Cauchy, Urbach, Lorentz

selbstdefinierbare Dispersionsfunktionen

parametrisiertes Halbleitermodell

Gradientenschichten:

Materialzusammensetzung als Funktion der Tiefe

selbstdefinierbare Tiefenprofilfunktion

Oberflächen- und Grenzflächenrauhigkeit

Legierungsmaterialien:

Al_xGa_1-xAs, Hg_xCd_1-xTe, SixGe_1-x, SiO_xN_y, etc.

Temperaturabhängige Materialien

Superlattice-Struktur:

Wiederholung definierter Schichtfolgen

Anisotropie:

uniaxial, biaxial

freie Orientierung

Bestimmung der Orientierung (Euler-Winkel)

nichtabsorbierend, absorbierend

Korrektur nicht-idealer Systeme:

Rückseitenreflektion

Schichtdickenvariation

Fenstereffekte bei In-situ-Messung

Mehrprobenanalyse:

gemeinsame Auswertung der Meßdaten mehrerer Proben bei Kopplung gleicher Parameter. Reduziert Parameterkorrelation.

Datentypen:

Alle Datentypen lassen sich für einen gemeinsamen Fit verknüpfen.

Winkelabhängige spektroskopische Ellipsometriedaten:

Psi & Delta als Funktion des Einfallswinkels, der Wellenlänge und der Zeit

Transmissions- und Reflektions-Daten:

p-, s-, oder unpolarisiertes Licht als Funktion des Winkels und der Wellenlänge

Transmissionsellipsometrie:

wie Ellipsometrische Daten, lediglich Messung durch die Probe

Generalisierte Ellipsometrie (Anisotropie):

Bestimmung der Nebenelemente der Jones-Matrix bei Anisotropen Proben in Reflektion und Transmission

Daten mit Rückseitenreflektion:

Messung von der Probenober- und von der Probenrückseite (durch das Substrat)

2. VASEManager: zur einfachen, prozeßorientierten Ellipsometersteuerung und -Auswertung

3. GROWTHManager: zur einfachen, operatorgerechten In-situ-Echtzeit-Beschichtungssteuerung.

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wagner@lot-oriel.de

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→	www.qd-international.com


External Links:
→	www.jawoollam.com
→	Arbeitskreis Ellipsometrie (AKE) - Paul Drude e.V.
→	5th Workshop Ellipsometry, Zweibrücken, March 2nd - 4th, 2009

News:


→	Spectrum European Edition 11 (June 10) is online!
→	Spectrum 118 (Juni 2010) is online!
→	Anasys Instruments: Nanoscale IR spectroscopy and thermal analysis
→	UV-VIS-NIR spectroradiometers designed for radiometric measurements and characterisation of artificial light sources and solar simulators
→	SPM insert for the QD PPMS®


	LOT-Oriel GmbH & Co. KG E-mail: info@lot-oriel.de				Im Tiefen See 58 D-64293 Darmstadt				Phone: +49 6151 - 88 06 0 Fax: +49 6151 - 896667		emotiv design

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1. WVASE: Auswertesoftware Ellipsometrie, T, R

Datentypen:

2. VASEManager: zur einfachen, prozeßorientierten Ellipsometersteuerung und -Auswertung 3. GROWTHManager: zur einfachen, operatorgerechten In-situ-Echtzeit-Beschichtungssteuerung.

2. VASEManager: zur einfachen, prozeßorientierten Ellipsometersteuerung und -Auswertung

3. GROWTHManager: zur einfachen, operatorgerechten In-situ-Echtzeit-Beschichtungssteuerung.