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Photovoltaik: Profilometer und Stressmessgeräte

Stressmessgeräte FLX-2320-S und FLX-3300



Die Geräte ermöglichen die Stressmessung an unterschiedlichsten Substraten und Dünnschichten. Die Geräte arbeiten mit Temperaturen von -65°C (FLX-2320-S) bis 500°C. Es können Substrate bis 300mm Durchmesser untersucht werden.



Profilometer P6 Solar



Das P6 Solar Profilometer von KLA-Tencor ist eine spezielle Komplett-Konfiguration aus der P6 Produktlinie für Forschung und Fertigung in der Photovoltaikindustrie. Es ermöglicht die hochauflösende 2D- und 3D-Untersuchung von Oberflächen von Substraten bis 150mm Durchmesser.



PDF-Download
P-6 Stylus Profiler (PDF, 271 KB)
Film Stress Measurement System Flexus FLX-2320 S (englisch) (PDF, 393 KB)
Film Stress Measurement System FLX 3300, 300 mm Version (PDF, 96 KB)

Profilometer und Stressmessgeräte


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