LOT-Oriel - Neue Temperierzelle für Spektralellipsometer

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Neue Temperierzelle für Spektralellipsometer

Da einerseits die bisherige Heizzelle von Woollam nur einen eingeschränkten Temperaturbereich von RT bis 300 °C ermöglicht und nicht über eine aktive Kühlung verfügt (was jedoch für viele Anwendungen durchaus ausreichend ist) und andererseits ein kompletter Kryostat (4,2 K bis 700 K) für viele Aufgabenstellung überdimensioniert ist, bietet Woollam jetzt eine INTEC-Heizzelle für den Bereich von -160 °C bis 600 °C an. Diese Zelle verfügt über eine elektronische Heizsteuerung mit einem im Probenhalter integrierten Thermokoppler und aktive Stickstoffkühlung. Die Zelle kann sowohl offen als auch mit geschlossenem Gehäuse betrieben werden. Das Gehäuse verfügt über Einstrahlfenster für 70° Einfallswinkel und der Möglichkeit zur Wasserkühlung.

Die Ansteuerung der Temperaturregelung ist voll in die Ellipsometersoftware integriert, so dass alle möglichen Temperaturrampenprofile gefahren werden können.

Im nachfolgenden Bespiel wurden für eine Untersuchung von Polystyrol auf Silizium zur Bestimmung der Glasübergangstemperatur wiederholende Temperaturrampen von -> 160 °C -> 60 °C gefahren. Der Knick in der Steigungsänderung der temperaturabhängigen Schichtdicke bzw. Brechzahl ergibt eine Übergangstemperatur für das Polystyrol von 100 °C.

Abb. 1: INTEC-Heizzelle mit Gehäuse

Wie dieses Beispiel zeigt, lassen sich mit der neuen INSTEC-Heizzelle jetzt auch umfangreichere temperaturabhängige Experimente über einen weiten Temperaturbereich sehr einfach mit den Woollam-Ellipsometern. durchführen.

Abb. 2: Temperaturrampen zur Untersuchung der Glasübergangstemperatur von Polystyrol auf Si

Abb. 3: Temperaturabhängige Schichtdicke und Brechzahl des Polystyrol-Films

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