LOT-Oriel - SAGE HR

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Neues ESCA-System SAGE HR –
höherer Probendurchsatz bei besserer Auflösung

Schon seit langem bewährt sich das ESCA-System SAGE 150 der Firma Specs über all dort, wo empfindliche Oberflächen- Element-Analyse bei hohem Probendurchsatz gefordert ist. Die einfache Bedienung erlaubt, dass diese Methode für Routinemessungen von Anwendern ohne physikalische Grundkenntnis schnell und zuverlässig durchgeführt werden können. Die neue SAGE HR bietet die volle SAGE- Funktionalität bei deutlich verbesserter ESCA- (XPS-)-Performance. Der wesentliche Unterschied zur "Standard"-SAGE ist der neue high-end PHOIBOS-Analysator mit 5-Kanaldetektionssystem. Dadurch hat sich die Effizienz des Gerätes ca. versechsfacht: bei einer Anregung mit 300 W Mg Röntgenstrahlung erhält man von einem Probenfleck von 1 mm Durchmesser bei der Linie AG 3d5/2 und einer Halbwertsbreite von 1 eV eine Zählrate von 600.000 cps. Somit lassen sich die Messungen noch schneller durchführen, was den Probendurchsatz deutlich steigert.

Des weiteren kann somit auch im "Small Spot XPS"-Modus gearbeitet werden, womit ein Probenfleckdurchmesser von 100 µm analysiert werden kann.

Eine weitere Neuerung ist die Einführung eines Probenbeobachtungsmikroskops mit Laserpointer zur präzisen Probenpositionierung. Die Positioniergenauigkeit liegt bei 100 µm. Dies sind nur einige ausgewählte Punkte, die verdeutlichen sollen, dass die Vorzüge, für die bereits die SAGE 150 bekannt war - idealer Bedienkomfort und Hochleistungs-ESCA - nochmals deutlich gesteigert wurden.

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High Resolution Compact ESCA System SAGE HR (PDF, 260 KB)

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