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Spektroskopisches Ellipsometer VASE®
(Variable Angle of incidence Spectroscopic Ellipsometer)

vertikale Probenhalterung (V-VASE)
computergesteuerte Einfallswinkelgoniometer 20° - 90°
Einfach- oder Doppelmonochromator
Spektralbereich 240 - 1100 nm (Standard)
NIR bis 1700 nm
erweitertes NIR bis 2200 nm
DUV ab 191 nm
AutoRetarder (V-VASE)
computergesteuerte 150 mm XY-Mappingeinheit
manuelle 25 mm oder 50 mm XY-Translationseinheit
200 µm Mikrospoteinheit
Kamera zur Probenbetrachtung
Cryostat (4.2 bis 470 K)
Heizzelle (bis 300°C)



Software
Anwendungsbeispiele

Video
VASE Video (WMV, 2,3 MB)



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Externe Links:
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4th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry, June 11-15, 2007, Stockholm, Sweden

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