LOT-Oriel - MASE

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MASE™ –
Schnelles Multiple Angle Spectroscopic Ellipsometer

Die neueste Woollam Co. Innovation vereinfacht spektrokopische Mehrwinkelmessung. Dabei bleiben die Ellipsometer-Arme fest, während strahlführende Optiken den Messstrahl unter drei unterschiedlichen Einfallswinkeln auf die Probe leiten. Dadurch ergibt sich ein kompaktes Design und erlaubt schnelle, automatisierte Änderung des Einfallswinkels. In Verbindung mit der automatisierten Höhenjustage bietet das MASE die optimale Lösung für schnellen Routinemessaufgaben und schnelles Oberflächenmapping, bei dem Mehrwinkelmessung notwendig ist.

Zusätzlich kann eine integrierte Fokusieroption angeboten werden. Ohne komplizierte und zeitaufwendige zusätzliche Justage der Fukusieroptiken, lässt sich, je nach Aufgabenstellung, die Probe auf Knopfdruck mit fokusiertem Spot (z.B. 100µm), oder mit normalem Lichtstrahl, untersuchen.


Verfügbare Spektralbereiche:
Modell:
V:	370 bis 1000 nm (390 Wellenlängen)
U – U-Xe:	245 bis 1000 nm (470 Wellenlängen)
D:	193 bis 1000 nm (500 Wellenlängen)
VI:	370 bis 1700 nm (610 Wellenlängen)
UI:	245 bis 1700 nm (690 Wellenlängen)
DI:	245 bis 1700 nm (700 Wellenlängen)

Modernste Technologie

Rotating Compensator (RCE) Konfiguration!

RCE liefert genaue "Delta"-Daten von 0° bis 360° sowie erweiterte Messmöglichkeiten

Spotgröße:

Modelle U, V, D: 2 mm bis 4mm

Mit integrierter Fokusieroption (über Knopfdruck schnell verfügbar):

D(I), U(I): 400 µm

V(I) : 250 µm

U-Xe: 100 µm

Einfallswinkel:

45°, 60°, 75°, schneller, automatisierter Einfallswinkelwechsel

Hohe Messgeschwindigkeit:

Das gesamte Spektrum wird simultan gemessen

Typische Messzeit von wenigen Sekunden machen das MASE ideal für:

- Ex-situ-Mapping.

Großer Schichtdickenbereich:

Die große Anzahl an Wellenlängen erlaubt Schichtdickenmessung von wenigen Angstroms bis ca. 10 µm und mehr

Erweiterte Messmöglichkeiten:

- Anisotropy

- Mueller Matrix

- Depolarization

Verfügbare Optionen

NIR Erweiterung

Erweiterter Spektralbereich für die Modelle "V" und "U" bis 1700 nm mit zusätzlich 110

Wellenlängen, 1000 nm bis 1700 nm

Automatisierte Probentranslation:

100 mm x 100 mm XY

200 mm RΘ

300 mm RΘ

Manuelle Probentranslation:

25 mm x 25 mm XY

50 mm x 50 mm XY

Software

Anwendungsbeispiele

Video

MASE Video (WMV, 3,7 MB)

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André Galliker
Tel.: + 41 21 869 90 33
Fax: + 41 21 869 93 08
galliker@lot-oriel.com

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