LOT-Oriel - M-2000

PRODUKTE:

HOME

Wählen Sie eine Seite in "Spektroskopische Ellipsometer"

M-2000™ –
Schnelles Spektroskopisches Ellipsometer

Das M-2000™ Ellipsometer kombiniert als erstes System die 'rotating compensator'-Methode mit der CCD-Technologie. Damit ist eine sehr hohe Meßgeschwindigkeit möglich: mindestens 390 Wellenlängen in < 1 Sekunde. Verfügbare Spektralbereiche: M-2000V: 370 bis 1000 nm (390 Wellenlängen) M-2000U/UXE: 245 bis 1000 nm (470 Wellenlängen) M-2000D: 193 bis 1000 nm (500 Wellenlängen) M-2000VF: 370 bis 1000 nm (390 Wellenlängen) ) M-2000UF: 245 bis 1000 nm (580 Wellenlängen) ) NIR-Erweiterung: 1010 bis 1690 nm (190 Wellenlängen) (* für Mikrospot variable einstellbar: 25 µm x 60 µm; 50 µm x 120µm; 75 µm x 180 µm; 125 µm x 300 µm; 175 µm x 420 µm) FP-M-2000: voll automatisiertes M-2000 für Flatpanel-Anwendungen

Modernste Technologie

Rotating Compensator (RCE) Konfiguration!

RCE liefert genaue "Delta"-Daten von 0° bis 360° sowie erweiterte Meßmöglichkeiten

Hohe Meßgeschwindigkeit:

Ca. 500 Wellenlängen werden simultan gemessen

Typische Meßzeit von wenigen Sekunden machen das M-2000 ideal für:

-Ex-situ-Mapping.

-In-situ-Prozeßsteuerung

Großer Schichtdickenbereich:

Die große Anzahl an Wellenlängen erlaubt Schichtdickenmessung von wenigen Angstroms bis ca. 10 µm und mehr

Erweiterte Meßmöglichkeiten:

-Anisotropy

-Mueller Matrix

-Depolarization

Verfügbare Optionen

NIR Erweiterung

Erweiterter Spektralbereich für die Modelle "V" und "U" bis 1700 nm mit zusätzlich 220 Wellenlängen, 1000 nm bis 1700 nm

Verfügbare Ex-situ-Winkeleinheiten:

1. Einwinkeleinheit (75°), horizontale Probenhalterung

2. Manuell einstellbare Einfallswinkel (45° bis 90°, kontinuierlich), horizontale Probenhalterung

3. Automatisierte Einfallswinkel, vertikale (20° bis 90°) oder horizontale (45° bis 90°) Probenhalterung

In-Situ-Paket:

Beinhaltet UHV Fenster für Beschichtungskammer, Verkippeinheiten und alle Anbauteile zur Montage des M-2000® an 2" Vakuumflange

Automatisierte Probentranslation:

100 mm x 100 mm XY (nur horizontale Probehalterung)

150 mm x 150 mm XY

200mm x 200 mm XY (nur horizontale Probehalterung)

300mm x 300 mm XY (nur horizontale Probehalterung)

1.1 m x 1.3 m XY: AccuMap-SE für Solar Cell Applications

Manuelle Probentranslation:

25 mm x 25 mm XY (nur horizontale Probenhalterung)

50 mm x 50 mm XY (nur horizontale Probenhalterung)

Fokusierung:

Spotgröße 150 bis 300µm (abhängig vom Modell) im ganzen Spektralbereich

Für Standardspotgröße können Fokusoptiken einfach abgenommen werden

**Kleiner Spotdurchmesser verfügbar (<50 µm) für M-2000F

Software

Anwendungsbeispiele

Video

Micro Spot M2000 Video (WMV, 1,7 MB)

Automated M-2000UI Video (WMV, 1,7 MB)

↑ Anfang der Seite ↑

International:

Suche:



→ Alphabetischer Suchindex → Sitemap

Ihr Kontakt:

André Galliker
Tel.: + 41 21 869 90 33
Fax: + 41 21 869 93 08
galliker@lot-oriel.com

Links:


Quantum Design:
→	www.QDUSA.com


Externe Links:
→	www.jawoollam.com
→	4th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry, June 11-15, 2007, Stockholm, Sweden

Aktuelles:


→	Stellenangebot Materialforschung/Dünnschichtanalyse
→	Large Area Imaging at -100 °C ....the Andor iKon-M (PDF, 246 KB)
→	Merger between LOT-Oriel Europe and Quantum Design (PDF, 56 KB)
→	Near Infrared Beam Profiler
→	New Ultra High Speed Camera Cheetah


	L.O.T.-Oriel AG E-mail: suisse@lot-oriel.com				Moulin-du-Choc CH-1122 Romanel-sur-Morges				Tel.: +41 21 869 90 33 Fax: +41 21 869 93 08		emotiv design