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Spektroskopische Ellipsometer

LOT-Oriel vertritt europaweit Woollam Co., den Weltmarktführer auf dem Gebiet Spektroskopische Ellipsometrie.

Wir bieten Ellipsometer an für Forschung und Produktionsüberwachung, zur Bestimmung optischer Konstanten und Schichtdicken, auch von Vielschichtsystemen, in-situ und ex-situ.

Spektroskopische Ellipsometer vom VUV bis FIR, mit der wohl umfangreichsten und komfortabelsten Software.



Bei L.O.T.-Oriel finden Sie eine Vielzahl von spektroskopischen Ellipsometer, für jeden Anwendungsfall das optimale System.

VASE® (mit Video)
Leistungsfähiges Forschungsellipsometer mit grossem Spektralbereich (193 – 2200 nm)
M-2000® (mit Video)
Schnelles Rotating Compensator Ellipsometer, verschiedene Spektralbereiche
VUV-VASE™ (mit Video)
Spektralellipsometer für den Spektralbereich von VUV bis NIR. Ideal für Lithographieanwendungen bei 157nm, 193nm und 248nm
MASE™ (mit Video)
Neues Mehrwinkelellipsometer, basierend auf M-2000 mit schnellem Winkelwechsel
IR-VASE®
IR-Ellipsometer mit Spektralbereich 2 bis 35µm
Alpha-SE™ (mit Video)
Preiswertes Spektralellipsometer, einfach zu bedienen

Software
Anwendungsbeispiele
Woollam Co. (www.jawoollam.com)
Messungen als Dienstleistungen


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 Ihr Kontakt:


André Galliker
Tel.: + 41 21 869 90 33
Fax: + 41 21 869 93 08
galliker@lot-oriel.com

 Links:
Quantum Design:
www.QDUSA.com
Externe Links:
www.jawoollam.com
Arbeitskreis Ellipsometrie (AKE) - Paul Drude e.V.
5th Workshop Ellipsometry, Zweibrücken, March 2nd - 4th, 2009

 Aktuelles:
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Merger between LOT-Oriel Europe and Quantum Design (PDF, 56 KB)
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