M-2000™

 

Schnelles Spektroskopisches Ellipsometer

 

Das M-2000™ Ellipsometer kombiniert als erstes System die 'rotating compensator'-Methode mit der CCD-Technologie. Damit ist eine sehr hohe Meßgeschwindigkeit möglich: mindestens 390 Wellenlängen in < 1 Sekunde.

 

Verfügbare Spektralbereiche:

M-2000V: 370 bis 1000 nm (390 Wellenlängen)

M-2000U/X: 245 bis 1000 nm (470 Wellenlängen)

M-2000D: 193 bis 1000 nm (500 Wellenlängen)

 

M-2000UF: 245 bis 1000 nm (580 Wellenlängen) *)

NIR-Erweiterung: 1010 bis 1690 nm (190 Wellenlängen)

(* für Mikrospot variable einstellbar: 25 µm x 60 µm; 50 µm x 120µm; 75 µm x 180 µm; 125 µm x 300 µm; 175 µm x 420 µm)

 

 

Modernste Technologie

• Rotating Compensator (RCE) Konfiguration!
  RCE liefert genaue "Delta"-Daten von 0° bis 360° sowie erweiterte Meßmöglichkeiten

 

• Hohe Meßgeschwindigkeit:
  Ca. 500 Wellenlängen werden simultan gemessen

 

• Typische Meßzeit von wenigen Sekunden machen das M-2000 ideal für:
  - Ex-situ-Mapping.
  - In-situ-Prozeßsteuerung

 

• Großer Schichtdickenbereich:
  Die große Anzahl an Wellenlängen erlaubt Schichtdickenmessung von wenigen Angstroms bis ca. 10 µm und mehr

 

• Erweiterte Meßmöglichkeiten:
  - Anisotropy
  - Mueller Matrix
  - Depolarization

 

 

Verfügbare Optionen

 

• NIR Erweiterung
  Erweiterter Spektralbereich für die Modelle "V" und "U" bis 1700 nm mit zusätzlich 220 Wellenlängen, 1000 nm bis 1700 nm

 

• Verfügbare Ex-situ-Winkeleinheiten:

 

1. Einwinkeleinheit (75°), horizontale Probenhalterung
2. Manuell einstellbare Einfallswinkel (45° bis 90°, kontinuierlich), horizontale Probenhalterung
3. Automatisierte Einfallswinkel, vertikale (20° bis 90°) oder horizontale (45° bis 90°) Probenhalterung

 

• In-Situ-Paket:
  Beinhaltet UHV Fenster für Beschichtungskammer, Verkippeinheiten und alle Anbauteile zur Montage des M-2000® an 2" Vakuumflange

 

• Automatisierte Probentranslation:
  100 mm x 100 mm XY (nur horizontale Probehalterung)
  150 mm x 150 mm XY
  200mm x 200 mm XY (nur horizontale Probehalterung)
  300mm x 300 mm XY (nur horizontale Probehalterung)
  1.1 m x 1.3 m XY: AccuMap-SE für Solar Cell Applications

 

• Manuelle Probentranslation:
  25 mm x 25 mm XY (nur horizontale Probenhalterung)
  40 mm x 40 mm XY (nur horizontale Probenhalterung)

 

• Fokusierung:
  Spotgröße 150 bis 300µm (abhängig vom Modell) im ganzen Spektralbereich
  Für Standardspotgröße können Fokusoptiken einfach abgenommen werden
  **Kleiner Spotdurchmesser verfügbar (<50 µm) für M-2000F

 

 

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M2000