Phenom

Spezifikationen

Desktop-Rasterelektronenmikroskop Phenom G2

• intuitive Bedienung,
• ultrakurze Probenladezeiten (< 30 Sekunden),
• einfache Probennavigation auch bei höchster Auflösung,
• standardmäßig mit automatisierter Probenbewegung,
• Materialkontrast zur Unterscheidung von Elementen und Darstellung von Objektformen,
• Topografiekonstrast zur Darstellung von feinsten Oberflächenstrukturen,
• 100 Mal bessere Tiefenschärfe als Lichtmikroskope,
• Blendfreie Aufnahmen von polierten, glänzenden Oberflächen,
• auch für empfindliche Proben dank Charge Reduction Technologie einsetzbar
• "ProSuite": Umfangreiche Softwarelösungen erweitern die Einsatzmöglichkeiten.
• Phenom ist das professionelle, erschwingliche Desktop-Elektronenmikroskop.

• Langlebige CeB6-Elektronenquelle
• integrierte Turbomolekularpumpe
• Variables Vakuum in der Probenkammer (Option)
• S/W CCD Kamera (Phenom G2 pure), Farb CCD Kamera (G2 pro)
• BSE-Halbleiterdetektor, Mutimode: Elementkontrast, Topografie A und B
• Auflösung < 8nm (Phenom G2 pure), <3nm (Phenom G2 pro)
• Motorisierte Probenbühne X- und Y-Achse
• Intuitives Bedienkonzept
• „Never-Lost-Navigation“

Vergrößerungen

• Lichtoptisch 24x (Phenom G2 pure), 20x - 120x (Phenom G2 pro)
• Elektronenoptisch stufenlos von 70x bis 15.000x (Phenom G2 pure),
  80x - 45.000x (Phenom G2 pro)
• zusätzlich 12x Digitalzoom

Automatikfunktionen

• vollautomatische Probenschleusung in weniger als 20 Sekunden
• Autofokus, Autokontrast und Autobelichtung
• Energiesparfunktion

Bildformate

• BMP, JPEG und TIFF, 8-Bit 256 Graustufen
• Bildauflösungen 456 x 456, 648 x 648, 1.024 x 1.024 und 2.048 x 2.048

Zubehör

Aktive Probenkammern

Probenkammer mit integrierter Kühlung/Heizung

Manche Proben neigen im Vakuum des Elektronenmikroskops aufgrund von Entwässerung, Ausgasen und Temperatur zu Strukturartefakten, wie Kollabieren, Ausgasen oder Anschmelzen.

Andere Proben, z.B. aus dem Pharmabereich sollen bei Körpertemperatur inspiziert werden. Dazu ist es notwendig, eine definierte Temperatur in der Probenkammer einzustellen.

• Temperaturbereich -25°C bis +50°C in 0,1°C-Schritten einstellbar
• Maximale Kühlleistung 20°C/min
• Probengrößen bis 25 mm Durchmesser und 5 mm Höhe
• Der Vorteil der motorisierten XY-Stage des Phenom bleibt vollständig erhalten
• Probenladezeit unter 30 Sekunden
• Charge Reduction Funktion reduziert die Notwendigkeit des Sputterns
• Für Phenom G1 und Phenom G2 geeignet

Die neue Probenkammer wird mit einem externen Controller und Kühleinheit geliefert.

Beispiel:

Bonbon schmilzt bei +35°C Bild rechts: Struktur und Feuchtigkeit bleibt bei kontrollierter Kühlung erhalten

Probenkammer mit zusätzlichen, integrierten Kipp- und Rotationsachsen

Zusätzlich zur standardmäßig im Phenom integrierten XY-Stage, bieten wir verschiedene Varianten mit zusätzlichen Kipp- und Rotationsachsen an.

Die Kipp- und Roataionsachsen wirken direkt am REM-Probenhalter, so dass Proben unter verschiedenen Betrachtungswinkeln inspiziert werden können.

Diese hochpräzisen Piezomotoren werden in eine Standard-Probenkammer des Phenom integriert.

Am Phenom werden keine Änderungen vorgenommen.

• Piezomotoren mit externem Controller
• Ansteuerbar über Controller, Joystick oder PC
• Programmierbare Bewegungsabläufe
• Schrittweite einstellbar von 0,25 nm bis 8,0 µm
• ohne Encoder ist die tatsächliche Schrittweite von der Masse der Probe abhängig
• Keine Änderungen am Phenom G1 oder G2 erforderlich

Variante 1: Kippachse -3° bis +90°

Kippachse lässt sich auf -3,0° bis +3,0° limitieren

Geeignet zur Herstellung von 3D-Aufnahmen in Verbindung mit

Bildverarbeitungssoftware, wie Scandium mit Option "Height"

Variante 2: Kippachse -3° bis +90°, Rotationstisch

Variante 3: Rotationsachse mit Encoder, Kippachse fix auf 54,7°

Rotation läßt sich auf 0,1 ° genau reproduzieren.

Dieser Probenhalter wurde speziell für die Partikelanalyse entwickelt, bei der es darauf ankommt, eine Probe von (fast) allen Seiten betrachten zu können. Weitere Informationen auf Anfrage.

Passive Probenkammern

http://www.phenom-world.com/electron-microscope/products/accessories

Probenkammer Standard

Zur Montage von Proben auf REM-Probenträgern bis 25 mm Durchmesser, Höhe der Probe max. 30 mm

Diese Probenkammer wird standardmäßig mit jedem Phenom ausgeliefert. Bei intensiver Nutzung des Phenom empfehlen wir mindestens 2 dieser Probenkammern vorrätig zu haben.

Probenkammer für Schliffe

Zur sicheren Montage von Schliffproben ohne aufwändiges Fixieren. Schliffe bis 30 mm Durchmesser, Höhe der Probe max. 30 mm

Einfacher geht es nicht, eine Schliffprobe sicher und absolut plan in das Elektronernmikroskop zu schleusen. Ohne Kleben. Ob der Boden uneben ist, spielt keine Rolle, da die Schliffprobe an der Oberseite ausgerichtet wird.

Charge Reduction

Die Standard- und Schliffprobenkammer sind auch in "Charge Reduction"- Version verfügbar.

Diese Probenkammern kommen dann zum Einsatz, wenn Sie mit nicht leitfähigen Proben arbeiten. Aufgrund des höheren Anteils an Restluft in der Probenkammer werden die darin befindlichen Wasserstoff-Atome durch den Elektronenstrahl positiv ionisiert. Diese positiv ionisierte Wolke holt sich die fehlenden Elektronen von der Oberfläche der nicht leitfähigen Probe zurück. Der Effekt ist, daß dadurch mit bis zu 8 x mehr Vergrößerung gearbeitet werden kann, bevor der sogenannte Aufladungseffekt einsetzt und gegebenenfalls auf das Sputtern vollständig verzichtet werden kann. Nützlicher Nebeneffekt ist, dass vakuumemfindliche Proben weniger Strukturartefakte aufweisen.

Probenkammer Microtool

Sie haben stabförmige Proben, wie z.B. Bohrer, Fräser, Kanülen, Stäbe, etc. mit einer Länge bis zu 100 mm und Durchmesser bis zu 10mm?

Mit dieser Probenkammer können Sie zerstörungsfrei und ohne Klebetechnik Ihre Probe im REM inspizieren.

Software

Phenom Pro Suite ist eine optionale Hardware-Plattform, bestehend aus

• Eee-Box-PC mit Windows 7 Pro
• 17 Zoll Monitor
• Tastatur und Maus

Pro Suite wurde entwickelt, um aktuelle und zukünftige REM-Applikationen in Verbindung mit dem Desktop-Elektronenmikroskop Phenom in einer verifizierten Hardware-Umgebung zu betreiben.

Pro Suite ist Basis für folgende Appliaktionen

• "Remote User Interface" (RUI) zur Fernsteuerung Ihres Phenom über LAN oder WAN
  Einfache Fernsteuerung Ihres Phenom zum Beispiel in den Konferenzraum oder den Hörsaal

• MeasureIT, einfache Vermessung und Dokumentation (Kooperationsprodukt mit Olympus-SIS)

• "Automated Image Mapping" (AIM)
  Bisher musste zur Erstellung von zusammengesetzten REM-Bildern die Einzelbilder mühsam per Hand aquiriert und anschließend in stundenlanger Arbeit verarbeitet werden. Mit Phenom AIM wird das zum Kinderspiel in Minutenschnelle.

Professionelle Anwendungen für Phenom Pro Suite

3D Roughness Reconstruction

Sekundenschnelle 3-Dimensionale Visualisierung von Objekten mit dem REM. Mit diesem bewährten Instrument können Sie die bereits hervorragenden topografischen Bilder, die Sie mit Ihrem Phenom angefertigt haben noch besser visualisieren. Das Verfahren kommt ohne Bewegung der Probe aus und erzeugt aus dem Signal der 4 Quadranten des Rückstreuelektronendetektors das 3D-Bild.

Die Software bietet zusätzlich die Ermittlung von Rauigkeitswerten. Viele Kunden setzen die Software auch ein, um Bruchflächen zu inspizieren.

NEU: Fibermetric 2.0

Für Hersteller und Verarbeiter von Fasermaterial die ultimative Anwendung zur Vermessung von nanoskaligen Faserdicken und Porenflächen.

Einzigartige Anwendung, die in Sekundenschnelle aus REM-Aufnahmen mit dem Phenom Ihr Fasermaterial analysiert und statistisch aufbereitet.

In der jetzt veröffentlichten Version 2.0 wurden folgende Verbesserungen realisiert:

• Vollautomatische Detektion von Faserdimensionen jetzt <=40 µm bis >=100nm
• Automatisierte Erkennung der Faserdicken ohne vorherige Kalibrierung
• Verbesserte automatische Detektion von relevanten Fasern
• Verbesserte Algorithmen zur
• Noch einfachere Bedienung
• Exportdaten können unveränderbar "eingebrannt" werden
• Performance-Optimierungen
• und vieles mehr

Probenpräparation

Einsätze für Phenom Probenkammern

Zielsetzung bei der Vorbereitung Ihrer Proben ist eine möglichst schnelle, sichere und wenig kontaminierende Montage Ihrer Proben. Deshalb versuchen wir auf Klebstoffe zu verzichten und statt dessen mit guten Fixiermechanismen zu arbeiten.

Fixiereinsatz für flache Proben, wie zum Beispiel Wafer-Stücke, mikroelektronische Bauteile etc.

Die Probe wird durch die besondere Anordnung der Messing-Halteklammern ohne die Verwendung von Klebstoffen sicher fixiert und sowohl an der Basis, als auch an der Oberfläche kontaktiert. Für diese Fixiereinheit wird ein Probenhalter für Schliffe benötigt.

Fixiereinheit für Querschnitte

Schichtdicken lassen sich mit hoher Genauigkeit bis an die Auflösungsgrenze des REM am Querschnitt einer Probe gemessen werden.

Auch bei diesem Einsatz wird die Probe ohne den Einsatz von Klebstoffen exakt im 90° Winkel fixiert. Für diese Fixiereinheit wird ein Probenhalter für Schliffe benötigt.

Werkzeug und Verbrauchsmaterialien für die REM-Probenpräparation

Die fachgerechte Proparation der Proben für professionelle REM-Aufnahmen ist unabdingbar.

Grundsätzlich müssen Proben frei von losem Staub und trocken sein.

Wir führen ein umfangreiches Sortiment an Werkzeugen und Materialien für die REM-Probenpräparation an.

• Probenpinzetten
• Probenaufnahmen
• Klebstoffe
• Reinigung
• Aufbewahrung

Fordern Sie unseren Katalog "Probenpräparation" an unter phenom@lot-oriel.com

SputterCoater

Wenn Sie bei schlecht leitfähigen Proben in hohen Vergrößerungen brillante REM-Bilder anfertigen möchten, kommt der SputterCoater zum Einsatz. Im SputterCoater wird im Vakuum unter Hochspannung in ein Plasma gezündet. In dem Plasma werden die Ionen des Restgases (üblicherweise Argon) angeregt und schlagen aus dem Sputtertarget (meist Gold, Paladium, Silber) Metallverbänder heraus, die dann auf der Oberfläche des Präparats eine dünne leitfähige Schicht erzeugt.

Diese dünne Schicht sorgt dafür, dass zum einen Aufladungseffekte deutlich reduziert werden, zum anderen wird das Reaktionsvolumen des Elektronenstrahls an dieser Schicht deutlich reduziert, was zu einer verbesserten Ortsauflösung führt. Aber Achtung: Können Sie das Gold mit bloßem Auge sehen, ist die Schicht zu dick! Deshalb bieten wir ab sofort einen sehr kompakten, automatischen SputterCoater an, bei dem Sie die gewünschte Schichtdicke voreinstellen können.

REM-Bilder

PDF Downloads

Des Kaisers letzte Kleider